በፕላዝማ-ወደ-ኬሚካል ትነት ዲፖዚሽን (PECVD) ሂደት ውስጥ፣ ከRF የኃይል ማስተላለፊያ እስከ የጋዝ መቆጣጠሪያ ሂደት ድረስ ያለው እያንዳንዱ የኤሌክትሪክ ግንኙነት፣ ቀጭን የፊልም ዲፖዚሽን እና የቺፕስ ምርት ወጥነት ላይ በቀጥታ ተጽዕኖ ያሳድራል። አነስተኛ መጠን ያላቸውን መሳሪያዎች አስቸጋሪ አካባቢ፣ ከፍተኛ ክፍተት እና ጠንካራ የኤሌክትሮማግኔቲክ ጣልቃገብነት መቋቋም፣ዋጎየፒኮማክስ® ማያያዣዎች፣ ሶስት ዋና ዋና ጥቅሞቻቸው “የመጠጋጋት፣ አስተማማኝነት እና ቅልጥፍና” ያላቸው፣ ለPECVD ስርዓቶች ተስማሚ የግንኙነት መፍትሄ ሆነዋል።
ፈጠራ ያለው የታመቀ ዲዛይን
ከትክክለኛ የክፍል አቀማመጦች ጋር መላመድ
የPECVD መሳሪያዎች ውስጣዊ ክፍተት ውስን ሲሆን ይህም በምላሽ ክፍሉ ዙሪያ የኃይል፣ የሲግናል እና የስሜት ህዋሳት መስመሮችን ጥቅጥቅ ያለ ዝግጅት ይፈልጋል። picoMAX® ባለ አንድ-ስፕሪንግ፣ ድርብ-ተግባር ዲዛይን ይጠቀማል፣ በርካታ የፒን ፒችዎች 3.5/5.0/7.5ሚሜ ይገኛሉ። ከተጣመረ በኋላ፣ ከቀደሙት ምርቶች በ30% ያነሰ ቦታ ይይዛል፣ ይህም በክፍሉ ዙሪያ ካለው የሽቦ መስፈርቶች ጋር በትክክል ይጣጣማል። የቀዳዳ አይነት ማገናኛው በፒን ራስጌው ውስጥ ሙሉ በሙሉ ማለት ይቻላል ተካትቷል፣ ምሰሶዎችን ሳያጡ ጎን ለጎን መገጣጠምን ይደግፋል፣ የወረዳ ቦርድ አጠቃቀምን በእጅጉ ያሻሽላል እና የሂደቱን የጋዝ ፍሰት መስክ ሳያስተጓጉል የምልክት እና የኃይል መስመሮችን ሥርዓታማ ዝግጅት ያስችላል።
ከከባድ የአሠራር ሁኔታዎች ጠንካራ ጥበቃ
የPECVD ሂደቶች ከፍተኛ የቫክዩም፣ ከፍተኛ ድግግሞሽ ፕላዝማ እና የንዝረት አካባቢዎችን የሚያካትቱ ሲሆን ይህም በማገናኛ አስተማማኝነት ላይ ጥብቅ ፍላጎቶችን ያስቀምጠዋል። picoMAX® እስከ 12 ግራም የሚደርስ የንዝረት መቋቋም ያለው የተረጋጋ መዋቅር አለው፣ ይህም በከፍተኛ ድግግሞሽ ንዝረት ምክንያት የሚፈጠረውን የግንኙነት ልቅነትን ይከላከላል። እንዲሁም የተሳሳተ የማስገባት ንድፍ እና የመቆለፊያ መሳሪያን ያካትታል፣ የመጫኛ ስህተቶችን ያስወግዳል እና ድንገተኛ ግንኙነት መቋረጥን ይከላከላል፣ የመሳሪያዎች ስራ ያለጊዜው እንዲቀጥል ያረጋግጣል።
ከመሳሪያ-ነጻ ፈጣን ግንኙነት
picoMAX® ከመሳሪያ-ነጻ ፈጣን-ማገናኘት ቴክኖሎጂን ያቀርባል፣ ይህም ለነጠላ-ክር እና ለብዙ-ክር ሽቦዎች በቀዝቃዛ-ጭነት ማገናኛዎች "ተሰኪ-እና-ያዝ" ግንኙነቶችን ያስችላል። ውስብስብ የሽቦ ግንኙነቶች በአንድ ደረጃ ይጠናቀቃሉ፣ ይህም የመገጣጠሚያ ቅልጥፍናን በእጅጉ ያሻሽላል እና የማረሚያ ዑደቶችን ያሳጥራል። የሞዱላር ዲዛይኑ ከዳግም ፍሰት ብየዳ ሂደቶች ጋር ተኳሃኝ ነው፣ አውቶማቲክ ምርትን የወጪ ቅነሳ ፍላጎቶችን ያሟላል። እንዲሁም ሁሉንም የPECVD የግንኙነት ሁኔታዎችን ይሸፍናል፡ 3.5ሚሜ ፒን ፒች 0.2-1.5ሚሜ² የምልክት ሽቦዎችን ያስተናግዳል፣ 5.0/7.5ሚሜ ፒን ፒች 16A የኃይል መስመሮችን ይደግፋል። ከሽቦ-ወደ-ቦርድ እና ግድግዳ በኩል የመጫኛ ዘዴዎችን ይደግፋል፣ ከቁጥጥር ካቢኔ እና ከጉድጓድ ሽቦ ጋር ተኳሃኝ ነው፣ እና ከGB/T 5226.1 የኤሌክትሪክ ደህንነት ደረጃዎች ጋር ይጣጣማል፣ ለሂደት መረጋጋት ጠንካራ መከላከያ ይገነባል።
በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ፣ የናኖሜትር ደረጃ የሂደት ትክክለኛነት እጅግ በጣም አስፈላጊ በሆነበት፣ አስተማማኝ ግንኙነቶች ከፍተኛ ምርት ለማግኘት ዋስትና ናቸው።ዋጎፒኮማክስ®፣ በአብዮታዊ የምርት ዲዛይን ጽንሰ-ሀሳቡ፣ በታመቀ አሻራ ውስጥ "አነስተኛ መጠን፣ ከፍተኛ አፈጻጸም" ያስገኛል፣ ለ PECVD መሳሪያዎች የተረጋጋ፣ ቀልጣፋ እና ዘላቂ የግንኙነት መፍትሄዎችን ይሰጣል። ይህ የሴሚኮንዳክተር አምራቾች የእያንዳንዱን ቺፕ የማይክሮሜትር ደረጃ ትክክለኛነት በመጠበቅ የትክክለኛነት ሂደት ግንኙነቶችን ተግዳሮቶች እንዲያሸንፉ ይረዳቸዋል።
የፖስታ ሰዓት፡- ማርች-13-2026